Ausstattung

REM: XL30 ESEM-FEG / FEI und Philips XL 20

Sekundär und Rückstreuelektronendetektor
Energiedispersives Röntgenspektrometer (EDS): lokale Elementanalyse
Rückstreuelektronenbeugung (EBSD): kristallographische Orientierungsmessung und Phasenidentifizierung

Oberflächen können mit Vergrößerungen bis zu 250.000:1 abgebildet werden (Auflösung = 2 nm).
Gleichzeitig ist eine Elementanalyse von Probenbereichen bis herab zu ca. 0,1 µm³ möglich. Die erfassbaren Elemente reichen von 5B bis 92U.

Focused Ion Beam-Mikroskop (FIB): Strata 201 / FEI

Mikrosstrukturierung; Nanostrukturierung
Probenpräparation für REM und TEM
gezieltes Ionenstrahlätzen in X-,Y- und Z-Achse
Chaneling-Kontrast (Orientierungskontrast)